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QUANTUM-S系列是為半導體行業(yè)設計和制造的全新解決方案。
該泵由機械加工的超純PTFE制成,隔膜和球由改性PTFE制成。
這種配置不僅具有高耐化學性和機械強度,還確保了高達120°C的超純安全泵送。
QUANTUM-S系列是為安裝在半導體行業(yè)以實現(xiàn)安全和超純操作而設計的。設計和使用的材料允許供應不同的化學品,具有可靠性、效率和精度。
對于純度、精度和安全性是關鍵詞的新興行業(yè)來說,這種泵是非常需要的。
性能特點
1“-highest 85 l/min
半導體工業(yè)的先進安全設計
令人難以置信的低脈動效應
改性PTFE膜片
5件式空氣分配系統(tǒng)
沒有金屬部件與液體接觸
超清潔組裝、測試和包裝(可選)
易于安裝和維護
現(xiàn)場培訓和VR/AR協(xié)助(可選)
用于高純度應用
技術參數(shù)
型號:DQS 100
流體入口:G 1“BSP
進氣口:G3/8“BSP
max流量:851/min
max工作壓力:2-7巴
輸送頭:70 mca
max吸程干燥:4 mca
max吸程濕:9 mca
max固體尺寸:5 mm
噪聲:80 dB(A)
重量:23公斤
產(chǎn)地:意大利
自吸式,淹沒或浸沒安裝
0…680升/分鐘流量
法蘭或2英寸BSPF連接端口
聚丙烯和PVDF濕結構
熱塑性橡膠(山都平)與PTFE膜片
安裝簡便,可調(diào)流量
可以干燥運行
氣動操作,不需要電動執(zhí)行器
失速免氣動回路
PDM或氟橡膠O形圈
FDA版本拋光SS316可用
ATEX版本可用于25R,38R和50R所有型號-要為ZONE1配置泵,腔室材料后添加X(例如WR成為WRX)